Search
Now showing items 1-1 of 1
PERANCANGAN DAN PEMBUATAN MESIN DC MAGNETRON SPUTTERING SERTA PENGUJIAN AWAL
(FT UMY, 2017-01-12)
DC magnetron sputtering memiliki beberapa keunggulan dibandingkan dengan teknik-teknik pembentukan film tipis lainnya. penumbuhan film tipis dengan metode magnetron sputtering merupakan salah satu metode pelapisan pada ...