Browsing Department of Mechanical Engineering by Author "MUHAMMAD, BAGJA RESTU"
Now showing items 1-1 of 1
-
PERANCANGAN DAN PEMBUATAN MESIN DC MAGNETRON SPUTTERING SERTA PENGUJIAN AWAL
MUHAMMAD, BAGJA RESTU (FT UMY, 2017-01-12)DC magnetron sputtering memiliki beberapa keunggulan dibandingkan dengan teknik-teknik pembentukan film tipis lainnya. penumbuhan film tipis dengan metode magnetron sputtering merupakan salah satu metode pelapisan pada ...