Browsing Department of Mechanical Engineering by Subject "DC magnetron sputtering, film tipis, substrat."
Now showing items 1-1 of 1
-
PERANCANGAN DAN PEMBUATAN MESIN DC MAGNETRON SPUTTERING SERTA PENGUJIAN AWAL
(FT UMY, 2017-01-12)DC magnetron sputtering memiliki beberapa keunggulan dibandingkan dengan teknik-teknik pembentukan film tipis lainnya. penumbuhan film tipis dengan metode magnetron sputtering merupakan salah satu metode pelapisan pada ...