Baja tahan karat SS 316 banyak digunakan diberbagai industri karena mempunyai ketahanan korosi sangat baik karena adanya pembentukan lapisan lindung dipermukaan, namun mempunyai kelemahan antara lain kekerasan yang rendah dan sifat tribologis yang kurang baik. Paper ini membahas, pengaruh perlakuan permukaan plasma nitrocarburing dengan variasi waktu proses terhadap kekerasan dan ketahanan korosi material SS 316. Spesimen dengan diameter 14 mm dan tebal 3 mm dipotong dengan menggunakan gergaji mesin dari batang baja pejal. Permukaan spesimen dihaluskan dengan kertas amplas dengan mesh 400, 600, 800, 100, 1200 secara berurutan, kemudian dipoles dengan pasta intan. Pencucian dan pembersihan spesimen dengan alkohol dilakukan dengan Ultrasonic cleaner. Proses nitro-karburasi plasma dikerjakan pada tekanan vakum 1,6 mbarr, menggunakan campuran gas CH4, H2, N2, dan dengan komposisi berurutan 3.05%, 19,31%, dan balanced. Waktu pendeposisian divariasi pada 60, 120, 180, 240, dan 300 menit, sementara temperatur proses dijaga konstan pada temperatur sekitar 500˚C. Struktur mikro spesimen diamati dengan mikroskop electron (SEM). Komposisi kimia daerah difusi akibat nitro-karburasi diperoleh dengan EDS yang dikopel SEM. Pengujian kekerasan dilakukan dengan menggunakan Microhardness Tester MMT-X7 Matsuzawa, sedangkan uji korosi dalam larutan NaCl 0,9% menggunakan Potensiostat/Galvanostat PGS-201T. Hasil pengamatan mikrostruktur menunjukkan bahwa pada spesimen yang telah dinitrocarburizing pada waktu 300 menit terlihat jelas adanya peningkatan kandungan atom-atom N dan C pada permukaan spesimen SS 316 dengan komposisi nitrogen sebesar 22,45% massa dan karbon sebesar 44,4% massa. Sedangkan kedalaman difusi dari nitrida maupun karbida sekitar 30 µm. Hasil uji kekerasan menunjukkan bahwa kekerasan rata-rata awal SS 316 sebesar 641,47 VHN, sedangkan setelah dilakukan proses nitro-karburasi kekerasan meningkat dimana diperoleh kekerasan tertinggi pada proses nitro-karburasi dengan waktu deposisi 300 menit dengan peningkatan 64,5% (1055,27 VHN). Hasil uji korosi dengan menggunakan larutan NaCl 0,9% pada semua variasi waktu nitro-karburasi menunjukkan bahwa pada semua variasi waktu pendeposisian ketahanan korosi mengalami sedikit penurunan dibandingkan dengan spesimen tanpa nitro-karburasi.