View Item 
      •   UMY Repository
      • 03. DISSERTATIONS AND THESIS
      • Students
      • Undergraduate Thesis
      • Faculty of Engineering
      • Department of Mechanical Engineering
      • View Item
      •   UMY Repository
      • 03. DISSERTATIONS AND THESIS
      • Students
      • Undergraduate Thesis
      • Faculty of Engineering
      • Department of Mechanical Engineering
      • View Item
      JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

      PERANCANGAN DAN PEMBUATAN MESIN DC MAGNETRON SPUTTERING SERTA PENGUJIAN AWAL

      Thumbnail
      View/Open
      COVER (30.15Kb)
      HALAMAN JUDUL (358.6Kb)
      HALAMAN PENGESAHAN (858.7Kb)
      INTISARI (175.7Kb)
      BAB I (92.73Kb)
      BAB II (498.9Kb)
      BAB III (916.4Kb)
      BAB IV (659.1Kb)
      BAB V (255.1Kb)
      DAFTAR PUSTAKA (157.5Kb)
      Date
      2017-01-12
      Author
      MUHAMMAD, BAGJA RESTU
      Metadata
      Show full item record
      Abstract
      DC magnetron sputtering memiliki beberapa keunggulan dibandingkan dengan teknik-teknik pembentukan film tipis lainnya. penumbuhan film tipis dengan metode magnetron sputtering merupakan salah satu metode pelapisan pada bahan non logam, dimana prosesnya mudah dan membutuhkan waktu relatif cepat dibandingkan dengan proses pelapisan biasa. Tugas akhir ini membahas tentang perancangan dan pembuatan DC magnetron sputtering skala laboratorium. Langkah pertama proses perancangan dan pembuatan adalah dengan merancang mesin sputtering secara keseluruhan menggunakan Software Autodesk Inventor. Komponen yang didesain dan dirangkai meliputi vakum chamber dan power supply yang terdiri atas transformator, diode bridge, kapasitor, dan indokator. Pengujian DC magnetron sputtering melakukan proses pelapisan pada substrat kaca dengan ukuran (70 mm x 35 mm x 2 mm) dan menggunakan variasi waktu 90 detik dan 130 detik, tekanan vakum 10-2 torr, tegangan 150 volt, dan arus (Imax) 1 ampere. Kemudian hasil pelapisan diamati secara visual dan diukur hambatannya menggunakan multimeter digital. Hasil perancangan dan pembuatan DC magnetron sputtering diperoleh tegangan voltage regulator maksimum 180 volt dengan pembatasan arus fuse sebesar 8 ampere. Tegangan power supply sama dengan besar tegangan voltage regulator. Out put dari voltage regulator digunakan sebagai input power supply. Tekanan vakum maksimal tercatat sebesar 25 micron/ . Mesin DC Magnetron Sputtering telah berhasil dibuat dan berfungsi. Dilakukan dua kali pengujian pada mesin, percobaan pertama dengan waktu 90 detik menghasilkan hambatan sebesar 12.6 Ω dan percobaan kedua dengan waktu 120 detik menghasilkan hambatan sebesar 9.2 Ω.
      URI
      http://repository.umy.ac.id/handle/123456789/10125
      Collections
      • Department of Mechanical Engineering

      DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
      Contact Us | Send Feedback
      Theme by 
      @mire NV
       

       

      Browse

      All of UMY RepositoryCollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjects

      My Account

      Login

      DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
      Contact Us | Send Feedback
      Theme by 
      @mire NV